狹縫式涂布機的性能特點
狹縫式涂布機適用于有機太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等基材的涂布,非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布,也應(yīng)用于光學膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)、OLED涂布等。狹縫式涂布機的性能特點是怎樣的?今天奔躍小編跟大家說說:
1、設(shè)備整體采用兩級調(diào)整確保大面積平臺水平度,涂布平臺有單獨的調(diào)平機構(gòu),平臺是否平整作為工藝門檻的第.一步相當于地基。
2、涂布刀頭采用專用合金,特殊表面熱處理的進口大尺寸刀頭(自有專利設(shè)計技術(shù)),防有機溶劑,防形變。
3、Z軸采用伺服電機配合編碼器加光柵尺雙閉環(huán),確保刀頭的位置精度,和刀頭的水平度。
4、集成化注射泵,可聯(lián)動控制溶液流速,自動進液,自動除氣,自動管路清洗(需要配備清洗液,刀頭需拆卸清洗)。
5、涂布平臺運行機構(gòu)采用直線伺服電機提高平臺穩(wěn)定性,將工藝中影響的因素減到極.致。
6、廢液回收系統(tǒng),可配合管路清洗進行廢液回收,方便廢液處理。
7、涂布平臺帶有多區(qū)域真空吸附功能,基底定位功能,方便基底定位以及涂布過程的固定。
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