狹縫涂布機(jī)平板顯示用精密狹縫涂布成膜技術(shù)已成熟
狹縫涂布機(jī)平板顯示用精密狹縫涂布成膜技術(shù)已成熟:
在線精密成膜技術(shù)主要為干法成膜和濕法(溶液)成膜。其中濕法(溶液)成膜有兩種設(shè)備:IJ和狹縫涂布,而狹縫涂布是濕法(溶液)成膜的關(guān)鍵技術(shù)。
大面積精密狹縫涂布成膜技術(shù)——從平板顯示到光伏和IC先進(jìn)封裝
目前在大面積尺寸上,僅有狹縫涂布涂層厚度控制范圍較廣,一致性較高。狹縫涂布技術(shù)是平板顯示濕法(溶液)成膜技術(shù)中最主要的技術(shù)。
在柔性O(shè)LED中,狹縫涂布技術(shù)可應(yīng)用在多個(gè)方面,例如蓋板(UTG/CPI/HC)、觸摸(AgNW/CP)、電極(TCF/CPI)、基板(PI+TFT)、TFT基板中的PI成膜與光刻膠涂布。
IC板級封裝(FO-PLP)是精密溶液成膜技術(shù)的新發(fā)展之一。目前許多產(chǎn)品已經(jīng)采用該方法,例如奕斯偉在510mm*515mm上進(jìn)行封裝、佛智芯在600mm*600mm上進(jìn)行封裝。扇出大板級封裝(FO-PLP)具有4個(gè)優(yōu)勢:性能優(yōu)越、物理尺寸小、成本低、適應(yīng)性高。
而板級封裝中間的核心設(shè)備之一就是狹縫涂布設(shè)備,扇出大板級封裝的挑戰(zhàn)在于芯片巨量轉(zhuǎn)移至玻璃基板后會出現(xiàn)翹曲,但是可以解決該問題。
目前大尺寸精密狹縫涂膜裝備嚴(yán)重依賴進(jìn)口,例如OLED產(chǎn)業(yè)中,TFT涂布機(jī)、蒸鍍機(jī)、投影曝光機(jī)等基本上由韓國、日本控制,我國涂布設(shè)備廠商基本集中在非電子級應(yīng)用領(lǐng)域。
而中國已經(jīng)形成可以參與世界競爭的電子級涂膜設(shè)備公司,對標(biāo)公司為世界前5的日韓德狹縫涂布設(shè)備公司,著力開發(fā)鈣鈦礦量產(chǎn)核心涂膜設(shè)備。
高端精密溶液法成膜應(yīng)用廣泛,在新能源(鈣鈦礦、OPV、氫電池、鋰電池等)中,可以應(yīng)用于質(zhì)子交換膜、鋰電池隔膜、HTL/ETL/perovskites等;在平板顯示(LCD,OLED,mLED, QLED等)中,可以應(yīng)用于TFT及CF、PI基板及UTG/CPI蓋板、光電功能層/電極、柔性封裝(TFE)、LCD 配向膜。
在IC封裝、電子信息、智能等領(lǐng)域中,可以應(yīng)用于FO-WLP/FO-PLP、傳感器、電致變色及智能玻璃。
在成熟的精密狹縫涂布成膜技術(shù)基礎(chǔ)上,目前在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域取得非常有前景的發(fā)展,尤其是鈣鈦礦太陽能電池領(lǐng)域和集成電路FO-PLP先進(jìn)封裝領(lǐng)域。
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